金属氧化物半导体在空气中被加热到必定温度时,氧原子被吸附在带负电荷的半导体外表,半导体外表的电子会被转移到吸附氧上,氧原子就变成了氧负离子,一起在半导体标明产生一个正的空间电荷层,导致外表势垒升高,然后阻止电子活动(见图1)。
在灵敏资料内部,自在电子有必要穿过金属氧化物半导体微晶粒的结合部位(晶界)才干构成电流。由氧吸附产生的势垒相同存在于晶界而阻止电子的自在活动,传感器的电阻即缘于这种势垒。在作业条件下当传感器遇到复原性气体时,氧负离子因与复原性气体产生氧化复原反响而导致其外表浓度下降,势垒随之下降(见图2),导致传感器的阻值减小。
跟着厚膜印刷、MEMS等工艺的推行,半导体气体传感器完成了微型化、智能化的迭代晋级。工程师们逐步研制出了在微型陶瓷基片的双面别离制作加热器和气敏层的平面半导体气体传感器,缩小了体积、下降了功耗;后来又衍生出运用MEMS工艺的Si基微热板与半导体资料组成的MEMS气体传感器,结构更巩固、功耗更低,也更便于集成。
MPn-4C选用多层厚膜制作工艺,在Al2O3陶瓷基片上集成了加热电极、丈量电极和金属氧化物半导体气敏层,并将其封装在金属壳体内。当环境空气中存在被检测气体时,传感器的电导率会产生显着的改变,该气体的浓度越高,传感器的电导率就越高。选用简略的电路就可以将这种电导率的改变转换为与气体浓度相对应的输出信号。该产品对运用场景中常见气体如酒精、乙酸等有很好的抗干扰才能。
半导体气体传感器不光可以用于可燃气体检测,也可以适用于烟雾、酒精、一氧化碳、臭氧、氨气、硫化氢、有机蒸气等多种气体的检测。炜盛科技半导体系列气体传感器包含民用半导体系列和工业级半导体系列,如您有相关需求,请联络大盛~
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