运用在半导体氮气加热的体系是一种为半导体加工定制的加热设备,经过加热设备、氮气供给体系和操控办理体系的协同效果,完成对半导体资料的准确加热处理,为半导体制作工艺供给了重要的支撑和保证。用户只需要一键发动仪器即可到达所需的温度和流量值,亦可长途异地操作和监控设备的运作时的状况,是一款先进智能的多功用综合性产品。氮气主动加热设备是一种经过电加热元件将电能转化为热能,对氮气进行快速、均匀加热的工业设备,大范围的应用于化工、电子、半导体等范畴。本产品的中心功用是精准调控氮气温度,保证出产的悉数过程中气体温度的稳定性。
松盛测控的SSGM-1J氮气电加热器运用先进加热技能,具有高升温功率和控温精度,运转安全可靠,并装备多重维护机制,避免气体在加热过程中,温度过冲的现象。在半导体出产的根本工艺中,运用加热后的氮气,可抑制管道内副产物的生成,削减设备阻塞危险,提高产品精度。